低温等离子净化器内部装有碰吸单元，截留去除废气中的颗粒物质，废气收集系统收集的多元素气体经过等离子活性氧净化装置，在高压等离子电场的作用下，电离初始态氧将其中的废气离子进行电离荷电净化，带电的微小离子(尘埃粒子)被吸附单元所收集并流入和沉积到气体处理装置的储尘箱内，气体内的有害气体被电场内所产生的臭氧所净化，并去除了异味，有害气体被除掉,达到废气处理的目的。
低温等离子体工业废气处理成套设备和技术作为一种新型的气态污染物的治理技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性电子化学技术，由于能很容易使污染物分子分解且处理能耗低等特点，是目前大气污染治理中*富有前景、*行之有效的技术方法之一，其使用和推广前景广阔，为工业领域甲醛类有机废气及恶臭气体的治理开辟了一条新的思路。
等离子净化器又被称之为是低温等离子废气净化器，在这一种净化器里，它分成了三个独立而又混合的系统，在每一个激发系统中都有着特定的功能。
微波激发区：微波激发区中zhi少都有3-9个微波激发单位，这些单位处理的风量不同数量也不同。微波由于它的频率相对较低，在短暂的时间中就能有效的作用于被处理的空间，同时正是由于微波功率的相对较小，因此它的激发能力也是有上限的。
低温等离子体激发：低温等离子体激发是由40-240只充有特殊气体的无极管所组成的低温等离子体激发区，低温的等离子体是工艺的核心技术，这一工艺主要是借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体，较大限度的在无极管区实现低温等离子体区，同时由于低温等离子体在nengliang跃迁过程中所具有的极强nengliang平衡性，因此在粒子撞击中损失的
nengliang是非常少的。
极板区：极板区能够根据被处理的气体流量，极板间的电压就会被分为12KV、16KV-42KV，在足够高的电压下，配合上引风的作用，在常压或是接近常压的条件下有相当的粒子能够实现低温等离子体。
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