低温等离子净化器内部装有碰吸单元，截留去除废气中的颗粒物质，废气收集系统收集的多元素气体经过等离子活性氧净化装置，在高压等离子电场的作用下，电离初始态氧将其中的废气离子进行电离荷电净化，带电的微小离子(尘埃粒子)被吸附单元所收集并流入和沉积到气体处理装置的储尘箱内，气体内的有害气体被电场内所产生的臭氧所净化，并去除了异味，有害气体被除掉,达到废气处理的目的。

低温等离子体工业废气处理成套设备和技术作为一种新型的气态污染物的治理技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性电子化学技术，由于能很容易使污染物分子分解且处理能耗低等特点，是目前大气污染治理中*富有前景、*行之有效的技术方法之一，其使用和推广前景广阔，为工业领域甲醛类有机废气及恶臭气体的治理开辟了一条新的思路。